气浮平台双工件台，则在一台光刻机里有2个承重晶圆的工件台。2个工件台互不相关，但是同时运作，一个工件舞台上的晶圆做曝出时，气浮平台另一个工件台对晶圆做测量等曝出前的准备工作。当曝出完毕之后，2个工件台交换位置和职责，这般周而复始完成光刻机的增产能。
气浮平台是集成化气浮机支撑点以实现某类运动功能性的总程，例如XY运动服务平台，转动气浮平台这些。针对平行线运动系统软件，可集成化伺服电机和光栅尺;针对转动运动系统软件，可集成化电机伺服电机，或平行线运动系统及转动运动系统构成一起。
